Ablation de couches minces par laser
L’ablation de couche mince consiste à ablater de la matière sur une faible épaisseur et de manière très localisée et sélective.
L’ablation de couches minces, également appelé « decoating », consiste à vaporiser ou sublimer une couche sans endommager son substrat ou la couche intermédiaire sous-jacente. Pour ce faire, le faisceau laser, à impulsions courtes (nanosecondes) ou ultra-courtes (picosecondes ou femtosecondes), est focalisé sur un diamètre de 5 à 100 µm.
Une énergie réglable
Dans certains cas, il est possible de régler l’énergie par impulsions entre les seuils d’ablation des deux matériaux afin de ne pas du tout endommager le substrat.
Dans d’autres cas, notamment lorsque le seuil d’ablation de la couche à ablater est supérieur à celui du substrat, l’énergie par impulsion doit être optimisée pour permettre d’atteindre le substrat en quelques impulsions, voire parfois seulement deux. C’est alors le recouvrement des impulsions qui permettra de réaliser une ablation selon une ligne continue par exemple.
Une ablation de grande qualité
La combinaison des lasers femtosecondes dernière génération et des scanners ultra précis à haute dynamique brevetés par LASEA, permet une ablation d’excellente qualité et très rapide comparée aux techniques industrielles usuelles.
Il est donc maintenant possible d’améliorer la qualité et les cadences de production dans les domaines des cellules solaires (photovoltaïque), des OLED, de la microélectronique. Une autre application dans l’industrie horlogère est d’ablater une couche mince servant de masque aux endroits où une attaque chimique est nécessaire. Dans la production de verre, il est aussi possible d’ablater la couche métallique recouvrant les pare-brises pour ouvrir des accès aux capteurs électroniques, ou encore dans l’industrie du flaconnage cosmétique, l’ablation de revêtement interne ou externe à but décoratif.
